KASHIYAMA NeoDry系列 真空泵

KASHIYAMA NeoDry系列干式真空泵采用先进的无油压缩技术，彻底解决了传统油封泵的油雾污染和废油处理问题，为现代工业与科研提供清洁、高效的真空获得手段。其模块化设计便于集成和自动化控制，广泛应用于半导体设备、光伏制造、真空镀膜、冷冻干燥等领域，满足从粗真空到中真空的多样需求。

干式泵的核心优势

NeoDry系列摒弃了润滑油在泵腔内的使用，从根源上避免了返油和油蒸气对真空系统的污染。这使得泵在运行中无需频繁更换油品，降低了维护成本，同时保证了工艺腔室的洁净度，特别适合对真空环境要求严苛的应用。

• 无油运行，杜绝油污染，确保气体纯净度
• 结构紧凑，易于安装，节省占地空间
• 低噪声设计，改善工作环境

工作流程与应用场景

在典型工作流程中，NeoDry真空泵作为主泵或前级泵，与分子泵、冷阱等组合使用。其抽气过程平稳，能够快速将系统压力降低至所需水平。根据不同的极限压力和抽速需求，可灵活选择单级或双级配置。

• 半导体行业：用于刻蚀、沉积等工艺腔室抽空
• 科研实验室：用于真空烘箱、离心浓缩仪等配套
• 制药行业：用于溶剂回收、真空干燥等工艺

安装与操作要点

安装时需确保泵体水平放置，周围留有足够散热空间。进气口连接应选用合适口径的法兰，并保证管路密封性。操作面板提供启动、停止及故障指示功能，可实现本地控制，也可通过通信接口接入监控系统。

• 确认电源电压与铭牌一致
• 连接进气管路前，清理系统内部异物
• 每次启动前检查进气口是否通畅

维护与保养建议

由于采用干式结构，日常维护主要集中在检查气路密封件和清理泵腔残留物。定期检查排气口是否有异常堵塞，并清洁冷却风扇。建议每年更换一次密封圈，以保证真空性能。

合理的使用与维护可显著延长泵的使用寿命，并保持稳定的抽气性能。

配置选择与兼容性

NeoDry系列提供多种抽速规格，覆盖不同规模的负载需求。选型时需综合考虑系统容积、所需极限压力、抽气时间等因素。泵可与各类真空计、气动挡板阀等附件兼容，实现自动化控制。

因素	选型考虑
系统容积	容积越大，所需抽速越高
工艺压力	确定所需极限压力，选择单级或双级
工作环境	环境温度、是否有易燃气体等

常见问题

1. NeoDry泵可以抽水蒸气吗？

可以，但需注意泵的运行温度，以免水蒸气凝结。建议在进气口安装冷凝器，并选择适合的配置。

2. 泵的噪声水平如何？

NeoDry系列采用低噪声设计，具体噪声值视型号而定，通常比传统油泵低，有助于改善工作环境。

3. 泵需要什么类型的电源？

支持单相或三相电源，具体电压范围根据配置而定。安装时请核对电机铭牌要求。

4. 如何判断泵是否需要维护？

当泵的抽速下降、极限压力升高或噪声异常增大时，通常表明需要维护。应检查气路、密封件和冷却系统。

5. 泵可以用于腐蚀性气体吗？

NeoDry系列可选配耐腐蚀涂层和密封材料，适用于一般腐蚀性气体，但对于强腐蚀或高毒性气体，需选用特殊材质并做好安全防护。